플라즈마 적용분야

01.

Smart Phone

스마트폰

  • - 폴더블폰 조립 공정에 AP 플라즈마 (M전극) 적용
  • - 터치패널 라미네이션/코팅 전처리 공정에 AP 플라즈마 (M 전극) 적용
Smart Phone
APM 전극
APM 전극
APM 200
APM 200
APM System – M200S
APM System – M200S

APM 전극

  1. 1. 매우 우수한 세정효과 / 표면개질 특성 보유 (기존 대기압 모듈 2~3배 높은 세정 효과)
  2. 2. 샘플과 전극간 Gap 기존 전극 대비 큼 (~5 mm Max.)
  3. 3. 낮은 동작전압 (~8kV), 낮은 Power (0.5~1.5kW) 사용으로 안정적 / 안전한 전극 사용 가능
  4. 4. CPI/UTG 기판 표면세정 및 코팅 전처리 공정에 롤투롤 장비로 적용 가능

Specification

Smart Phone

Unit : mm

* D1 x D2 – Docking point (M6 bolt x 4ea)
200M 300M 300M
A 282.4 382.4 482.4
B 95 95 95
C 130 130 130
D1* 384.4 448.4 548.4
D2* 110 110 110
E 318.4 418.4 518.4
Plasma
Area		 210 310 410
Weight 5Kg 6Kg 7Kg
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  • - 터치패널 제조 공정 중 발생하는 Tool 파티클을 USC 장비로 제거
미세파티클 제거 용 USC – USC-TS 시리즈
미세파티클 제거 용 USC – USC-TS 시리즈
USC 집진기
USC 집진기

USC 파티클 제거기 / USC-TS 시리즈

  1. 1. 생산공정 중 기판상 발생하는 수 마이크론 크기의 미세 파티클을 효과적으로 제거
  2. 2. Double Ultrasonic Air Flow 및 Triple Suction 으로 다양한 파티클 (1~100μm) 제거 효율적 (타사대비 동등 수준 이상의 제거 성능)
  3. 3. 상대적으로 Compact 한 모듈 크기로 설치가 용이하고 유지보수가 간단
  4. 4. 관련 기술 특허 출원 완료 (출원번호 : 한국 10-2020-0007121, 미국 16790447)

Specification

USC-TS

USC-TS
MODEL Cleaning Area W[mm] D[mm] H[mm] Dust Collector
USC-TS100 100 100 140 107 LC-50
USC-TS200 200 100 240 107 LC-100
USC-TS300 300 100 340 107 LC-100
USC-TS400 400 100 440 107 LC-200
USC-TS500 500 100 540 107 LC-200
USC-TS600 600 100 640 107 LC-200

집진기 모듈
(Dust Collector Module)

집진기 모듈 (Dust Collector Module)
MODEL 풍량[CMM] 정압 [mmAq] 출력[kW] W[mm] D[mm] H[mm]
LC-50 7 210 0.55 512.5 522 773
LC-100 12 230 0.75 740 692 1013
LC-200 30 230 1.5 740 692 1298
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  • - 터치패널 모듈 (Pol film/LCD/OLED) 부착 전처리 공정에 저온 에어젯 적용
  • - 카메라 모듈 부착 전처리 공정에 저온 에어젯 적용
저온 에어젯 – LT AJ03
저온 에어젯 – LT AJ03

저온 에어젯

  1. 1. 저온 플라즈마 공정 (~45℃) 가능하여 폴리머 기판에 열데미지 없음 (Narrow pad)
  2. 2. CDA 만 사용하고 고속 (100~200 mm/s) 에서도 사용 가능
  3. 3. Ag, Al 및 Cu 와 같은 금속 재료에 산화막 발생하지 않음

Specification

Air-Jet Plasma Module
Air-Jet Plasma Module
1KW Power Supply (Gas Utility 포함)
1KW Power Supply (Gas Utility 포함)

- Power Supply & Electricity

입력 전원 정격 전압 1 Phase AC 220V±10%
주파수 50/60Hz
출력 전원 출력전력 200~500W (Max: 1kw)
주파수 25~30kHz
출력전압 7~12kVp

- Hook-Up Utility

Utility Specification Q’ty Remark
CDA In Ф10 / Out Ф8,
10~100 SLM, 4~5 kgf/㎠		 1 EA 재질 : 우레탄
One-Touch Type
MF POWER AC220V±10%,
1 KVA		 1 EA E1 (10Ω 이하)
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